描述了一种用于一次写入记录的双叠层光学数据存储介质(10),它利用波长λ约为655纳米的聚焦辐射光束(9)。辐射光束在记录期间射入介质(10)入射面(8)。该介质包含:至少一个基片(1,7),在其一个面上有:一个名为L0的第一记录叠层(6),包含一次写入型L0记录层,...
本发明制备的结晶架状硅酸盐ZSM-5沸石实质上含有针形附聚物。架状硅酸盐ZSM-5沸石具有的
公开了一种光刻装置和器件制造方法,所述光刻装置设有至少部分地限定用于容纳位于投影系统和基底之间的液体的空间的液体结构。为了减小基底边缘在成像时的交叉,在基本平行于基底的平面内所述空间的截面面积应制成尽可能小。最小的理论尺寸是投影系统...
一种浸没式光刻装置适用于通过防止气泡从间隙选出到光束径和/或排出在间隙中形成的气泡,从而防止或减小在基底台中一个或多个间隙中形成的气泡。
光刻装置和器件制造方法 Lithographic apparatus and device manucturing method
一种浸没式光刻装置适用于通过防止气泡从间隙逸出到光束径和/或排出在间隙中形成的气泡,从而防止或减小在基底台中一个或多个间隙中形成的气泡。 An immersion lithographic apparatus is adapted to prevent air bubbles from escaping from the gap...
本发明制备的结晶架状硅酸盐ZSM-5沸石实 质上含有针形附聚物。架状硅酸盐ZSM-5沸石具 有的
具有预设凹槽调制的多层光盘 CNdoi:CN100383865 CH·C·F·马坦斯J·H·M·斯普鲁伊特P·H·沃尔里R·J·A·奥特拉亚尔W·R·科珀斯...
本发明涉及一种用于通过使用辐射功率在记录介质的至少两个层上记录数据的记录设备、记录载体和方法,其中在不同的辐射功率值下对所述至少两个层的各个层确定单独的记录速度。基于为记录操作的最大辐射功率选择将用于在所述至少两个记录层的单独层上...
Dual stack optical data storage medium CNdoi:CN1647173 AR·J·A·范登奥特拉亚尔H·C·F·马坦斯...
描述了一种利用聚焦辐射束(40)进行记录的多叠层光学数据存储介质(30),该聚焦辐射束的波长为λ并且通过该介质(30)的入射面(41)入射。该介质包括第一基底(31a),在其一侧上具有第一记录叠层(33),记作L0,其包括可记录型L0记录层(35)并且形成在第一L0引导槽(...
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